缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。 它的主要用途是蚀刻二氧化硅 (SiO2) 或氮化硅 (Si3N4) 薄膜。 它是缓冲剂的混合物,例如氟化铵 (NH4F) 和氢氟酸 (HF)。 浓缩的 HF 太快地蚀刻二氧化硅,无法进行良好的工艺控制,并且还会剥离光刻图案化中使用的光刻胶。具有表面活性剂的 10:1 缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 可潜在地用于碳化钛的蚀刻,碳化钛用于制造微机电系统 (MEMS)。 它可用于蚀刻自旋掺杂剂 (SOD) 以开发导体-绝缘体-导体隧道二极管。 它也可用于增强熔融石英器件的表面。
liquid
Danger
Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Inhalation - Acute Tox. 2 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A
6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
WGK 2