钨蚀刻剂，Tungsten etchant

图片 钨蚀刻剂，Tungsten etchant
别名：钨腐蚀剂；Tungsten etch； MDL编号: MFCD08705365 NACRES: NA.23
制造商品牌: 西格玛 Sigma-Aldrich
货号（SKU）: 667498
MDL号: MFCD08705365
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说明

一般描述

钨腐蚀剂是一种基于氢氧化钾和铁氰化钾溶液的混合物，可通过将基底浸入蚀刻溶液中而有助于将钨和铝等材料进行去除。
 

应用

半导体和微电子技术中钨薄膜金属化的选择性蚀刻剂。蚀刻剂是缓冲式、温和碱性铁氰化物配方，提供高分辨率图案，具有最小切割和光刻胶兼容性。蚀刻剂可直接使用（不需要稀释）。可控、均匀蚀刻是通过浸渍或喷雾蚀刻技术实现的。蚀刻能力（速率在∼70%时下降）为64 g/加仑。建议工作温度：20-80 °C（30-40 °C最常用）
 

制备说明

1.根据下表选择蚀刻方法蚀刻速率（浸入） 蚀刻速率（喷雾）
  • 20°C = 30 Å/秒
  • 30°C = 140 Å/秒 20°C = 80 Å/秒
  • 60°C = 250 Å/秒

2.用去离子水冲洗
 
 

属性

质量水平

100

 

安全信息

象形图

Corrosion
GHS05

警示用语：

Danger

危险声明

H290 - H314 - H412

危险分类

Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A

储存分类代码

8B - Non-combustible, corrosive hazardous materials

WGK

WGK 2

个人防护装备

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

商品规格
属性名称属性值
储存温度 Storage temp.常温阴凉避光
全球实时库存 Availability √美国St. Louis ≥ 30 | 欧洲Eur. ≥ 10 | 東京Tokyo ≥ 9 | 香港与北京 ≥ 30
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