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含有表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂,Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant [BHF]

BOE 6:1;BOE蚀刻剂;BOE刻蚀剂;BHF;Buffered HF;NACRES NA.23
制造商品牌: 西格玛 Sigma-Aldrich
货号(SKU): 901623
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¥1,371.81

说明

一般描述

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜。它是一种缓冲剂的混合物,例如氟化铵(NH4F)和氢氟酸(HF)。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快,无法实现良好的工艺控制,并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。
 

应用

含表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6:1可用于去除基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管的氧化物,用于栅极光刻。也可用于缓冲氧化物蚀刻剂方法,制造微生物芯片。
 
 

属性

形式

liquid

 

安全信息

象形图

CorrosionSkull and crossbones

警示用语:

Danger

危险分类

Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Inhalation - Acute Tox. 2 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A

储存分类代码

6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials

WGK

WGK 2

商品规格
属性名称属性值
储存温度 Storage temp.常温阴凉避光
全球实时库存 Availability √美国St. Louis ≥ 20 | 欧洲Eur. ≥ 16 | 東京Tokyo ≥ 5 | 香港与北京 ≥ 20
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