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含表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂,Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant [BHF]

BOE 6:1;BOE蚀刻剂;BOE刻蚀剂;BHF;Buffered HF;NACRES NA.23
货号(SKU): 901623
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₹ 19,606.64

产品描述

General description

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜。它是一种缓冲剂的混合物,例如氟化铵(NH4F)和氢氟酸(HF)。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快,无法实现良好的工艺控制,并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

Application

Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant may be used in the oxide removal of AlGaN/GaN-based high electron mobility transistors for gate photolithography.[1][2] It may also be used in a buffer oxide etchant method for the fabrication of micro biochip.[3]

性质

formliquid


安全信息

符号
信号词 Danger
RIDADR UN 1790B 6.1(8) / PGII
WGK德国 WGK 2
商品规格
属性名称属性值
储存温度 Storage temp.常温阴凉避光
全球实时库存 Availability √美国St. Louis ≥ 88 | 欧洲Eur. ≥ 126 | 東京Tokyo ≥ 46 | 香港与北京 ≥ 62
商品标签