缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1，Buffered oxide etchant (BOE) 10:1 [BHF]

图片 缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1，Buffered oxide etchant (BOE) 10:1 [BHF]
BOE 10:1；BOE蚀刻剂；BOE刻蚀剂；BHF；Buffered HF
制造商品牌: 西格玛 Sigma-Aldrich
货号（SKU）: 901621
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说明

一般描述

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。
 

应用

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1可用于刻蚀微机电系统 (MEMS)用碳化钛。也可用于旋涂掺杂材料(SOD)的蚀刻，用于开发导体-绝缘体-导体隧穿二极管。它还用于提高熔融石英器件的表面质量。
 
 

属性

形式

liquid

 

安全信息

象形图

CorrosionSkull and crossbones
GHS05,GHS06

警示用语：

Danger

危险分类

Acute Tox. 2 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B

储存分类代码

6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials

WGK

WGK 1

商品规格
属性名称属性值
储存温度 Storage temp.常温阴凉避光
全球实时库存 Availability √美国St. Louis ≥ 20 | 欧洲Eur. ≥ 16 | 東京Tokyo ≥ 5 | 香港与北京 ≥ 20
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