六氯乙硅烷，Hexachlorodisilane [HCDS]；96%

别名：1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷；六氯化二硅；1,1,1,2,2,2-Hexachlorodisilane, Disilicon hexachloride, HCDS

线性分子式: (SiCl3)2 CAS号: 13465-77-5 分子量: 268.89 EC 号: 236-704-1 MDL编号: MFCD00011599 PubChem化学物质编号: 24852311 NACRES: NA.23

制造商品牌: 西格玛 Sigma-Aldrich

货号（SKU）: 205184

CAS号: 13465-77-5

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说明

一般描述

六氯乙硅烷（HCDS）是一种氯硅烷，可用作生产乙硅烷的前体。它是一种用于生产硅膜和氮化硅基膜的脱氧剂。

应用

HCDS可用于通过化学气相沉积（CVD）制备二氧化硅气凝胶，其有望用作封装剂和绝热体。它也可用于通过CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷，其可形成微电子应用的硅基薄膜。

HCDS可用作还原剂。它可以通过化学气相沉积（CVD）技术与氨结合形成氮化硅。

属性

测定

96%

形式

liquid

折射率

n20/D 1.475 (lit.)

bp

144-145.5 °C (lit.)

密度

1.562 g/mL at 25 °C (lit.)

SMILES string

Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl

InChI

1S/Cl6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6

InChI key

LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N

安全信息

象形图

GHS05

警示用语：

Danger

危险声明

H314

预防措施声明

P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338 - P363 - P405

危险分类

Skin Corr. 1B

补充剂危害

EUH014

储存分类代码

8A - Combustible, corrosive hazardous materials

WGK

WGK 3

个人防护装备

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

商品规格

属性名称	属性值
储存温度 Storage temp.	常温阴凉避光
全球实时库存 Availability √	美国St. Louis ≥ 50 \| 欧洲Eur. ≥ 12 \| 東京Tokyo ≥ 20 \| 香港与北京 ≥ 50

商品标签 [tags]

六氯乙硅烷 (1)