六氟乙酰丙酮钯(II)，Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate

别名：六氟乙酰丙酮钯(II)；Pd(II) hexafluoroacetylacetonate；线性分子式: Pd(C5HF6O2)2 CAS号: 64916-48-9 分子量: 520.52 EC 号: 265-271-1 MDL编号: MFCD00015709 PubChem化学物质编号: 24865018 NACRES: NA.23

制造商品牌: 西格玛 Sigma-Aldrich

货号（SKU）: 401471

CAS号: 64916-48-9

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说明

应用

用于氧化还原金属置换反应，以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积，从而应用于超大规模集成设备。[1]

属性

质量水平

100

形式

powder or crystals

reaction suitability

core: palladium
reagent type: catalyst

SMILES string

FC(F)(F)C(=O)\C=C(/O[Pd]O\C(=C/C(=O)C(F)(F)F)C(F)(F)F)C(F)(F)F

InChI

1S/2C5H2F6O2.Pd/c2*6-4(7,8)2(12)1-3(13)5(9,10)11;/h2*1,12H;/q;;+2/p-2/b2*2-1-;

InChI key

OVIDFVVPPRGPGR-PAMPIZDHSA-L

安全信息

象形图

GHS07

警示用语：

Warning

危险声明

H315 - H319 - H335

预防措施声明

P261 - P264 - P271 - P280 - P302 + P352 - P305 + P351 + P338

危险分类

Eye Irrit. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3

靶器官

Respiratory system

储存分类代码

11 - Combustible Solids

WGK

WGK 3

个人防护装备

dust mask type N95 (US), Eyeshields, Gloves

商品规格

属性名称	属性值
储存温度 Storage temp.	常温阴凉避光
全球实时库存 Availability √	美国St. Louis ≥ 30 \| 欧洲Eur. ≥ 10 \| 東京Tokyo ≥ 9 \| 香港与北京 ≥ 30