五(二甲基氨基)钽(V)，Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) [PDMAT, TADMA, Ta(NMe2)5]；99.99%

图片 五(二甲基氨基)钽(V)，Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) [PDMAT, TADMA, Ta(NMe2)5]；99.99%
别名：五二甲基氨基钽；钽二甲基胺；PDMAT, TADMA, Ta(NMe2)5, Tantalum dimethylamide

线性分子式: Ta(N(CH3)2)5 CAS号: 19824-59-0 分子量: 401.33 MDL编号: MFCD01631286 PubChem化学物质编号: 24873088 NACRES: NA.23
制造商品牌: 西格玛 Sigma-Aldrich
货号（SKU）: 496863
CAS号: 19824-59-0
MDL号: MFCD01631286
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说明

一般描述

基材原子数：73 钽
 

特点和优势

氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时，还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
 
 

属性

质量水平

100

检测方案

99.99%

形式

solid

reaction suitability

core: tantalum
reagent type: catalyst

mp

100 °C (dec.) (lit.)

SMILES string

CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5

InChI key

VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

 

安全信息

象形图

FlameCorrosion
GHS02,GHS05

警示用语：

Danger

危险声明

H228 - H260 - H314

危险分类

Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 1

储存分类代码

4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water

WGK

WGK 3

个人防护装备

Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges

商品规格
属性名称属性值
储存温度 Storage temp.常温阴凉避光
全球实时库存 Availability √美国St. Louis ≥ 20 | 欧洲Eur. ≥ 16 | 東京Tokyo ≥ 5 | 香港与北京 ≥ 20
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