缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1，Buffered oxide etchant (BOE) 10:1 [BHF]

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BOE 10:1；BOE蚀刻剂；BOE刻蚀剂；BHF；Buffered HF

制造商品牌: 西格玛 Sigma-Aldrich

货号（SKU）: 901621

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¥1,818.09

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说明

一般描述

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO₂）或氮化硅（Si₃N₄）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH₄F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

应用

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1可用于刻蚀微机电系统 (MEMS)用碳化钛。也可用于旋涂掺杂材料(SOD)的蚀刻，用于开发导体-绝缘体-导体隧穿二极管。它还用于提高熔融石英器件的表面质量。

属性

形式

liquid

安全信息

象形图

GHS05,GHS06

警示用语：

Danger

危险声明

H301 + H331 - H310 - H314

预防措施声明

P261 - P270 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338

危险分类

Acute Tox. 2 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B

储存分类代码

6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials

WGK

WGK 1

商品规格

属性名称	属性值
储存温度 Storage temp.	常温阴凉避光
全球实时库存 Availability √	美国St. Louis ≥ 20 \| 欧洲Eur. ≥ 16 \| 東京Tokyo ≥ 5 \| 香港与北京 ≥ 20

商品标签 [tags]

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1，Buffered oxide etchant (BOE) 10:1 [BHF]

说明

一般描述

应用

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警示用语：

危险声明

预防措施声明

危险分类

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